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详细介绍
系统参数：
◆原理 非接触、三维白光扫描干涉仪
◆扫描装置: 长范围 Z 轴调节
◆物镜: 无限共轭干涉物镜：标准工作距离2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x；长工作距离：1x, 2x, 5x, 10x,详见物镜参数表
◆视场: 跟所选物镜有关
◆光源: 长寿命白光 LED，计算机控制光强
◆物镜座: 螺纹物镜座（标准）；
◆选件: 可快速装卸单物镜夹具（可选）；电控或手动 4 位物镜塔台（可选）。
◆辅助聚焦: 软件控制辅助聚焦
◆测量阵列: 1024×1024
◆样件观察: 软件集成交互式实时观察
◆Z 轴: 100mm 行程，主机头具有两种可选安装高度，以优化工作距离
◆样品台控制: USB 控制器，人体工程学设计的拇指控制按钮，可控制速度和聚焦模式切换
◆安全性: 系统集成紧急制动功能
◆样品台: 手动,俯仰倾斜±4°; 手动XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件
◆计算机: 高性能DELL计算机, 宽屏1080P LCD，64位，Windows 7系统
◆软件: ZeMapsTM
◆尺寸（HWD）: 系统：156×127×76cm; 工作桌：74x127x76cm; ZeGage 主机：82x53x53cm
◆重量: ZeGage 主机：54Kg; 工作台：37Kg
性能：
◆纵向扫描范围：≤ 20 mm，(受限于物镜工作距离)
◆表面形貌重复性：＜3nm（根据 ISO/DIS 25178 604 部，附件 D）
◆光学分辨率（横向）：0.52um ～9.50um，与所选物镜有关
◆扫描速度： ≤ 23 um/秒
◆数据点： 1,048,576
◆台阶测量： 准确度 ≤ 1%； 重复性≤ 0.1% @ 1σ
被测样品特性：
◆材料： 各种材料的表面：透明，不透明，镀膜，非镀膜，反射，弱反射
◆反射率：1-99%
环境要求：
◆温度： 15-30℃
◆温度变化率： ＜1.0°C/15分钟
◆湿度： 相对湿度 5%-95%，无凝结
◆隔振： 不需要
◆振动准则： VC-C 或有更好的推荐
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