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详细介绍
规格：
| ULTRA QV 404 | ||
| 光学系统 | PRO | |
| 测量范围 (X×Y×Z) | 400×400×200mm | |
| 倍率装置 | 可编程电动转台1X-2X-6X | |
| 分辨力 | 0.01 μm | |
| 长度基准 | 线性编码器 | |
| 影像装置 | 黑白CCD（1/2型） | |
| 测量精度（E1)*1 | X.Y轴 | (0.25+L/1000)μm |
| Z轴（全行程） | (1.5+2L/1000) μm (测量范围: 200mm) | |
| Z轴（50mm行程）*2 | (1.0+2L/1000) μm (测量范围: 10 - 60mm) | |
| 测量精度（E2)*1 XY平面 | （0.5+2L/1000）μm | |
| 照明装置 | 反射照明/ 透射照明/ 程控环形照明 | |
| 工作台尺寸 | 493×551mm | |
| 工件重量 *3 | 40kg | |
| 主机外观尺寸 (W×D×H) | 1172×1735×1910mm | |
| 主机重量 ( 包括机器设置台 ) | 约 2150kg | |
*1 ：根据本公司检查方法，L为任意两点间的尺寸（mm)。
*2 ：工厂出货检查。
*3 ：不包含的载重、集中载重。
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