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单蒸发皿程控镀膜仪

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更新时间:2022-09-02 19:06:48浏览次数:387

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产品简介

产品详情单蒸发皿程控镀膜仪基于客户需求设计的一款针对电极制备和有机物发光LED的镀膜设备,较常规产品,该产品新增旋转样品台和程序控温功能

详细介绍

产品详情

单蒸发皿程控镀膜仪

基于客户需求设计的一款针对电极制备和有机物发光LED的镀膜设备,较常规产品,该产品新增旋转样品台和程序控温功能。精确控制温度200℃-1500℃,较大可蒸镀直径50mm薄膜样品,可用于制备金属薄膜和有机物薄膜。



产品特点
光洁真空腔室:采用直径210mm石英腔室,易清洁和放入样品;
旋转样品台:可获得更均匀的薄膜样品;
钨丝加热:采用特制钨丝加热器,较高温度可达1500℃;
真空:内置分子泵机组,可获取更高真空;
自动/手动模式:控温模式可选,手动加程序控温可随意选择。



技术参数:

项目/型号
ECH - 1500 -Ⅰ
较高温度
1500℃(短期)
长期使用温度
1450℃
控温方式
手动、30段程序控温;
样品台转速
30rpm
加热形式
钨丝
蒸发源数量
单个(其他可定制)
进气口
 φ6mm卡套,可通入惰性气体保护;
真空
极限真空5.0*10-5torr
较大功率
1.5kW
加热较大电流
15A
外形尺寸
750*600*1350mm


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