详细介绍
产品详情
单蒸发皿程控镀膜仪
基于客户需求设计的一款针对电极制备和有机物发光LED的镀膜设备,较常规产品,该产品新增旋转样品台和程序控温功能。精确控制温度200℃-1500℃,较大可蒸镀直径50mm薄膜样品,可用于制备金属薄膜和有机物薄膜。
产品特点
光洁真空腔室:采用直径210mm石英腔室,易清洁和放入样品;
旋转样品台:可获得更均匀的薄膜样品;
钨丝加热:采用特制钨丝加热器,较高温度可达1500℃;
真空:内置分子泵机组,可获取更高真空;
自动/手动模式:控温模式可选,手动加程序控温可随意选择。
技术参数:
项目/型号 ECH - 1500 -Ⅰ 较高温度 1500℃(短期) 长期使用温度 1450℃ 控温方式 手动、30段程序控温; 样品台转速 30rpm 加热形式 钨丝 蒸发源数量 单个(其他可定制) 进气口 φ6mm卡套,可通入惰性气体保护; 真空 极限真空5.0*10-5torr 较大功率 1.5kW 加热较大电流 15A 外形尺寸 750*600*1350mm