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| 产地 | 进口 | 产品新旧 | 全新 |
|---|---|---|---|
| 自动化程度 | 其他 | 压力范围（满量程） | 1、2、10、100、1000 |
| 精度 | ±0.25%读数 | 压力 | 310Kpa |
| 电源要求 | ±15VDC?(±5%)?@?35?mA |
ACM200电容薄膜真空计
ACM200 电容薄膜压力计，通常安装在真空腔体或管道上，读取实时压力，±15VDC的电源和0 - 10VDC信号输出的，广泛用于半导体工程和真空工业设备。
特点
直接测量方式测量压力
无关气体组分影响
可应用于腐蚀性气体环境，适合于各类制程应用
可搭配Atovac仪表，实时显示
测量范围从10E-4Torr至1000TOrr，覆盖大多数制程压力范围
规格 | |
压力范围（满量程） | 1、2、10、100、1000 |
低压力 | 0.01%满量程 |
精度 | ±0.25%读数 可选：±0.15%读数 |
温度效应 零点 跨度 |
0.002% 满量程/°C 0.02% 读数/°C |
工作环境温度 | 0℃至50℃ |
暴露于气体中的材料 | 铬镍铁合金 |
泄漏率 | 1x10-8sec/sec He |
压力 | 310Kpa |
电源要求 | ±15VDC (±5%) @ 35 mA |
输出信号 | 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load |
法兰 | 8 VCR, NW16KF |
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