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详细介绍
SID4 R-CUBE 为一台集成式照明模块，可配合SID4系列波前位相传感器构成双光路光学元件测试系统。SID4 R-CUBE提供高品质的准直光源照明（可选择透镜构成汇聚/发散光源），并可直接连接至SID4系列传感器。可用于大口径平面及曲面镜片，透镜组件的测试及校准。
照明及光路组件SID4 R-CUBE主要特征：
l <20nm rms 精度
l <2nm rms 分辨率
l 震动不敏感
l 紧凑尺寸
l 用户可选照明波长
l 与平移台/ 旋转台/ 倾斜台兼容
照明及光路组件SID4 R-CUBE主要参数：
兼容传感器 | SID4, SID4 HR, SID4 SWIR |
光束直径 | 与传感器入瞳直径匹配 |
光源波长 | 635，780，808，1064，1550，1650nm可选 |
光源质量 | <20nm rms (635 - 808nm) <30nm rms (1064 - 1650nm) |
双光路参考镜片质量 | λ/20 P-V (633nm) |
位相分辨率（噪声） | <2nm rms |
测试方法图示：
l 用于自适应光学中消除分析臂的望远镜像差
1：SID4 位相传感器；2：SID4 R-CUBE模块；3：扩束望远镜。
l 大口径平面镜测试
l 双光路镜头品质测试：镜头，物镜，望远镜...任意尺寸与放大率
l 凹面镜测试
图例：1. SID4 波前传感器；2. SID4 R-CUBE照明模块；3. 望远镜/ 扩束镜；4. 待测（平）表面；5. 待测光学元件；6. 参考凹面镜；7. 物镜（光束变换用）；8. 待测凹面镜
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