微电子行业纯水设备

  一． 电子行业（特别是微电子行业）纯水需求量大，其特点是水质要求较高，电阻率一般大于15MO-CM以上。主要应用于：
     1. 大规模集成电路元器件的生产用水，一般电阻率均大于18MO-CM。按国家有关用水标准（GB/T11446.1-1997）执行。
     2. 电子元件厂，在焊接和组装过程中的冲洗用水。依据电子元件生产工艺不同，其用水标准中（即GB/T11446.1-1997）有可为四级（一级电导率18MO-CM以上，二级电阻率不低于15MO-CM，3级电阻率12MO-CM, 4级为0.5MO-CM）.
    二 . 制水工艺：
     1. 一级反参透加混合离子交换柱，适用标准中的三级和四级。
     2. 反参透加混合离子交换柱，再加一级精混（采用进口抛光树脂）适用于标准1级和2级出水指 标。
     3. 目前有一种新的工艺：
     即反参透（1级或2级反参透）加ED1（电脱盐），此工艺的优点是操作简单，无需树脂再生工艺，且出水指标一般均达到15MO-CM以上