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详细介绍
详情介绍
产品概述：
落地式结构，一体化多层防震结构
3000系列推出的系列机台，外观更加美观大气，抗振效果更佳。
搭载温度传感器
仪器搭载了温度传感器，软件界面实时显示外界温度，可监控仪器在不同温度状态下的精度表现。
大量程高精度轮廓传感器
轮廓测量·高精度传感器
指示精度：≤±(0.6+|0.1H|)μm
指示精度：≤±(0.6+|0.1H|)μm
自主研发宽范围粗糙度传感器
粗糙度测量·高分辨率传感器
指示精度：≤±(5nm+2.5%)
产品参数：
| 项目 | 规格 | |
| 测量范围 | X轴 | 0-220mm可选 |
| Z轴 | 0-620mm可选 | |
| Z1轴 | C：0-±30mm可选/R：±620μm | |
| Z1轮廓指示精度 | ≤±（0.6+|0.1H|）μm | |
| Z1粗糙度指示精度 | ≤±（5nm+2.5%） | |
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