详细介绍
品牌 | HAOYUE/皓越 | 升温速度(达到温) | 10℃min |
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加热方式 | 合金电阻丝 | 控温精度 | ±1℃ |
温度 | 1200℃ | 价格区间 | 5万-10万 |
仪器种类 | 管式炉 | 产地类别 | 国产 |
应用领域 | 化工,地矿,能源,电子,冶金 |
一、产品应用
PECVD工艺中由于等离子体中高速运行的电子撞击到中性的反应气体分子,就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应;借助射频等使含有薄膜组成原子的气体,在局部形成离子体,而等离子体化学活性很强,很容易反应,在基片上沉积出所期望的薄膜;具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点;
二、产品特点
1、整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好。
2、炉子底部装有一对滑轨,移动平稳,可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却。炉盖可开启,可以实时观察加热的物料。
3、采用高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小。
4、采用SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空,一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷。
5、加热元件采用康奈尔发热丝,表面负荷高、经久耐用。设计温度1200℃,升温速率10℃/min。
6、可选配多路质量流量计,数字显示、气体流量自动控制;内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀,可通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。
7、等离子射频电源:大射频功率达500W,输出频率13.56MHz±0.005%,输入电源 208-240VAC, 单相50/60Hz。
三、技术参数
型号 | HTF1200-2.5/20-2M-LV-PE | HTF1200-5/20-4M-LV-PE | HTF1200-6/40-2M-HV-PE | HTF1200-8/40-4M-HV-PE |
设计温度(℃) | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
控温精度(℃) | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 |
加热区直径(mm) | 25 | 50 | 60 | 80 |
加热区长度(mm) | 200 | 200 | 400 | 400 |
加热管长度(mm) | 450 | 450 | 1000 | 1000 |
恒温区长度(mm) | 80 | 80 | 150 | 150 |
额定电压(V) | 220 | 220 | 220 | 220 |
额定功率(KVA) | 1.2 | 1.2 | 3 | 3 |
射频电源功率(W) | 5~300 | 5~300 | 5~500 | 5~500 |
真空机组 | HTF-101 | HTF-101 | HTF-104 | HTF-104 |
供气系统 | HTF-2F | HTF-4F | HTF-2M | HTF-4M |