无尘室（无尘室）维护管理三大重点说明：
1.建筑物之维护管理： a.建筑物内定期检查清洁。
b.地板之清扫管理及损坏更新。
c.隔间墙及天花板检查清洁和封补。
d.窗户及门之保养等。
2.环境测定与管理： 无尘室内之运转环境状况如温、湿度及微尘粒子数应每日定期量测，以确实掌握质量，若有数据异常，可立即做紧急处理。
3.防尘空调设备之维护管理：
a.温、湿度及尘埃浓度管理，在前面以述及，唯其量测仪器应做定期校正检验，若有设备移动或施工时须做局部测量。
b.过滤网之管理：定期检查及更换，表6为各种过滤网之检查及更换周期。
c.空气调节器管理：定期检查隔板接缝及内部污染状况，冷热盘管是否有腐蚀现象。
d.送风机之管理：定期检查送风机运转状况。如表7所示为送风机之各项检查内容及周期。
e.风管及出风口之管理：检查风管是否有腐蚀、污染、尘埃堆积或保温脱落等。
f.测试及量测仪器管理：定期校正及保养。
g.室内压力管理：连续监视室内压力记录，以维持正压为基准。
