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自净检测
本项检测是测定设施清除空气悬浮粒子的能力。产生粒子的事件发生后,洁净度的恢复性能是设施zui重要的能力之一。自净检测仅对非单向流系统重要并采用,若使用人工气溶胶,应防止气溶胶对设施的残留污染。
“洁净室施工与验收规范”所采用的测试方法,与上述ISO 14644标准所规定的方法相类似。测试自净时间的方法是:
本项测定必须在洁净室停止运行相当时间,室内含尘浓度已接近大气尘浓度时进行。如果要求很快测定,则可当时发烟。
如果以大气尘浓度为基准,则先测出洁净室内浓度,立即开机运行,定时读数直到浓度达到zui低限度为止,这一段时间即为自净时间如果以人工(如发巴兰香烟)为基准,则将发烟器放在离地面1.8m以上的室中心点发烟1~2min即停止,待1min后,在工作区平面的中心点测定含尘浓度,然后开机,方法同上。
由测得的开机前原始浓度或发烟停止后1min的污染浓度,室内达到稳定时的浓度,和实际换气次数查图,得到计算自净时间,再和实测自净时间进行对比。
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