一般常用两种方法制备臭氧：水处理臭氧灭菌柜紫外线辐射法和电晕放电法。紫外线发生器用于较小的水量，移动式臭氧灭菌柜相对比较简单和经济，但浓度较低，不超过0.1％；产量有限，一般仅为几克/小时，效率也很低，仅适用于按摩池等小型游泳池。电晕放电法臭氧灭菌柜的效率较高、 臭氧浓度及产量也大，对于每小时循环流量在10吨以上的游泳池，应采用此类臭氧灭菌柜。
紫外线臭氧灭菌柜 大多数安装在居民区小型游泳池和浴池的臭氧灭菌柜用紫外线灯产生臭氧。臭氧通过用波长低于200nm的紫外线照射普通空气产生。当足够的紫外线能量加给氧分子，小型臭氧灭菌柜氧分子就分裂为两个自由的单原子，这些单原子与其它氧分子碰撞产生臭氧分子。
每个
臭氧灭菌柜的产率由以下几个因素而定：紫外线的能量和波长，紫外线灯周围的空间，温度，湿度，以臭氧灭菌柜及空气中的氧气含量和通过发生器的空气流的体积。如果一个给定系统的结构保持相对稳定，影响臭氧浓度的主要因素是空气流速。
电晕放电法臭氧灭菌柜 干燥的氧气或空气通过放电间隙，在高能电磁场下，氧气被电离成氧原子，氧原子与氧分子碰撞形成臭氧。其产率与氧的浓度、臭氧消毒柜气体干燥度、电源频率、介电材料的厚度、介电常数等有直接。臭氧的发生效率与气体的干燥度成正比,与气体中的氧浓度成正比( 臭氧产率在氧浓度为92%时zui高),与电源频率成正比,与臭氧消毒机放电间隙成反比,与介电层厚度成反比。
