双温区PECVD系统

硫粉预热器

型号：BTF-400C

工作温度：350℃

zui高温度：400℃

zui快升温速率：30℃/min

*升温速率：10℃/min

控温方式：智能化30段可编程控制

工作电压：AC220 V

额定功率：800W

控温精度：±1℃

加热元件：电阻丝

硫化炉

技术参数：                                                  

额定功率(KW):3

额定电压(V):AC220v  50/60 Hz

zui高温度(℃):1200（1 hour）

持续工作温度(℃）：1100

升温速率（℃/min）：≤50

炉管尺寸（mm）：

高纯石英管Φ50×1200mm

加热区长度（mm）：440mm

恒温区长度（mm）:200mm  

控温方式:模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度(℃):±1

加热元件:电阻丝

 供气系统（GMF-3Z） 

重量：35Kg                                            

外形尺寸：600x600x650mm

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

标准量程（N2)：100sccm、200sccm （可根据用户要求定制）

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

zui大压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止阀：Φ6

低真空机组（VAU-02）                 

技术参数：

空气相对湿度≤85%，

工作电电压：220V±10%  50~60HZ 

功率：1千瓦

抽气速率：4L\s

极限真空：4X10-2Pa

实验真空度：1.0X10-1Pa

容油量：1.1L

进气口口径：KF25

排气口口径：KF25

转速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸:600×600×600mm

射频电源

信号频率：13.56MHz±-0.005%

射频功率输出范围：5W-500W

zui大反射功率：200W

射频输出接口：50Ω。N-type,female

功率稳定度：±0.1%

谐波分量：≤-50dbc

供电电压：单相50/60Hz 220v±10%

整机效率：>=70%

功率因素：>=90%

冷却方式：强制风冷