卷对卷等离子增强CVD设备

技术参数：

额定功率：7KW

额定电压：AC 208-240V ，50/60 Hz

zui高温度：1200℃

持续工作温度：≤1100℃

升温速率：≤30℃/min

炉管尺寸：高纯石英管Φ80×2000mm

加热区长度：300+300+300mm

恒温区长度：500mm

控温方式：宇电仪表

控温精度：±1℃

加热元件：进口电阻丝

真空度可达10^-1Pa ；

真空泵抽速：4L/S

气路系统内部装有高精度质量流量计可准确的控制气体流量；设静态混气室，有助于气体充分混合，按要求配比。

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

zui大压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：液晶屏显示

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

射频信号频率：13.56MHz±0.005%W

功率输出范围：0-500W

细节展示：