微型PECVD系统

真空管式炉

炉管尺寸：

外径Φ50×700mm

极限温度：

1200℃

温度控制器：

PID自动控制晶闸管（可控硅）输出功率，30段可编程控制器

zui快升降温速率：

60℃

加热区：

230mm

恒温区：

100mm

温度精度：

±1℃

电源：

单相220V,交流50Hz

多通道流量计控制系统

标准量程：

100，200SCCM；（以氮气标定，除以上标准外量程可选）

准确度：

±1.5%

工作压差范围：

0.1～0.5 MPa

zui大压力：

3MPa

接头类型：

Φ6双卡套不锈钢接头

高真空系统

泵体积流量N₂：

33 L/S

压缩比：

≥10¹¹mbar   

实验真空值：

≤10^-6mbar

功率消耗：

140W

启动时间：

2min

电源要求：

185-265V AC

射频电源

信号频率：

13.56MHz±0.005%W

功率输出范围：

0-100W

zui大反射功率：

10W