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详细介绍
1.加热系统
zui高温度 | 1200℃ |
使用温度 | ≤1100℃ |
炉膛有效尺寸 | Φ80mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制。） |
炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
热电偶类型 | K型热电偶 |
控温精度 | ±1℃ |
控温方式 | 30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7”工控电脑，内置PLC控制程序。 |
加热长度 | 200+200+200mm |
加热原件 | 电阻丝 |
供电电源 | 单相，220V，50Hz |
2、三路质子流量控制系统
连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
标准量程（N2) | 200sccm，500sccm、1000sccm （可根据用户要求定制） |
准确度 | ±1.5%F.S |
线性 | ±1%F.S |
重复精度 | ±0.2%F.S |
响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa |
zui大压力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
显示 | 4位数字显示 |
工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
压力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 | Φ6 |
内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
3、低真空机组
空气相对湿度 | ≤85% |
工作环境 | 5℃～40℃ |
工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽气速率 | 10m³/h |
极限真空 | 5X10-1Pa |
工作压力范围 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐压值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
进气口口径 | KF25 |
排气口口径 | KF25 |
噪音 | 50dB |
连接方式 | 采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
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