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详细介绍
无锡冠亚恒温制冷技术有限公司的半导体控温解决方案
主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备，
⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。
半导体行业主营控温产品：
半导体专温控设备
射流式⾼低温冲击测试机
半导体专用温控设备chiller
Chiller气体降温控温系统
Chiller直冷型
循环风控温装置
半导体⾼低温测试设备
电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源
射流式高低温冲击测试机
快速温变控温卡盘
数据中心液冷解决方案
| 型号 | FLT-002 | FLT-003 | FLT-004 | FLT-006 | FLT-008 | FLT-010 | FLT-015 |
| FLT-002W | FLT-003W | FLT-004W | FLT-006W | FLT-008W | FLT-010W | FLT-015W | |
| 温度范围 | 5℃～40℃ | ||||||
| 控温精度 | ±0.1℃ | ||||||
| 流量控制 | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 6bar max | 25～75L/min 6bar max | ||||
| 制冷量at10℃ | 6kw | 8kw | 10kw | 15 kw | 20kw | 25kw | 40kw |
| 内循环液容积 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨胀罐容积 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷剂 | R410A | ||||||
| 载冷剂 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等 （DI温度需要控制10℃以上） | ||||||
| 进出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 冷却水口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| 冷却水流量at20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| 电源380V | 3.5kW | 4kW | 5.5kW | 7kW | 9.5kW | 12kW | 16kW |
| 温度扩展 | 通过增加电加热器，扩展-25℃～80℃ | ||||||
半导体制冷热交换器Chiller用于选择装置
半导体制冷热交换器Chiller用于选择装置
侧墙刻蚀单通道chiller是半导体制造过程中的设备之一，主要用于控制半导体制造过程中的温度，确保制造过程的稳定性和产品质量。本文将介绍侧墙刻蚀单通道chiller的使用知识，包括其工作原理、操作方法、维护保养等方面。
一、侧墙刻蚀单通道chiller的操作方法
1、启动前的准备工作：在启动侧墙刻蚀单通道chiller前，需要检查设备外观是否完好，电源、水源、气源等是否正常。同时，需要检查制冷剂系统、冷却水系统等是否正常。
2、启动操作：按下启动按钮，侧墙刻蚀单通道chiller开始运行。在运行过程中，需要注意观察设备的运行状态，如制冷剂压力、温度等参数是否正常。如果出现异常情况，需要及时停机检查。
3、停机操作：按下停止按钮，侧墙刻蚀单通道chiller停止运行。在停机过程中，需要注意关闭水源、电源等，并清理设备周围的杂物。
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