随着真空泵结垢的开始，循环水在泵内的热传递环境逐渐被破坏，热交换效率将越来越低，结垢速度会越来越快。水垢成因大致包括以下几方面：
1、受热分解。含有硬度成分的循环水进入真空泵后，随泵的旋转在泵体内形成水环做功发热，使溶解在水中的重碳酸盐逐渐分解，析出难溶于水的沉淀结成水垢。
2、溶解度降低。负溶解度温度系数的CaSO4、CaSiO3、 CaCO3 等盐类，随着循环水水温的增高溶解度降低析出沉淀结为水垢。
3、相互反应。循环水中原来溶解度较大的盐类，在真空泵运行过程中，和其他盐类相互反应生成难溶物质形成沉淀结成水垢。
4、蒸发和浓缩。由于循环水不断做功发热，不可避免地要产生蒸发和浓缩，使水中溶解盐的浓度不断增大，达到饱和时析出沉淀形成水垢。
运行中的真空泵，产生的水垢包括盐垢和污垢，其成分因水源不同而各不相同。污垢的大危害是使过水断而降小、水流阻力增大，影响正常供水量，降低热交换效率，水温不断提高，盐垢结成速度加快。有时甚至会造成垢下腐蚀，污垢沉积严重时还会导致真空泵声音异常、效率下降或卡死叶轮事故停机、污垢的来源因时因地而异，实际操作中要认真分析是否有废水流入，水源是否有泥沙、灰尘、煤泥或其他造成水质污染的原因。
以上分析表明，循环水的水质和运行温度超过一定指标是造成真空泵结垢的主要原因。水质指标，尤以水的硬度影响大。为此，必须尽可能降低水的硬度，控制循环水的工作温度，才能解决真空泵结垢的问题。所以在循环冷却水运行过程中对各台泵的回水温度和回水量进行检测，以保证各台泵的正常供水量以及回水温度不超过30°C的规定。供水量可以用阀门来控制，如果回水温度超过规定，要采取补充低温度冷水或用其他散热降温的办法来降低软化水池内软化水的温度。
其次，水环真空泵的泵体排水阀门，除了用于正常排出泵的内积水外，还可以再运行过程中利用泵体运转的水压定期冲洗泵内污垢和水造，一方面可以防止污垢积存，另一方面还可以防止水渣转化为水垢。
