空气过滤器的原型是人们为保护呼吸而使用的呼吸保护器具。据记载，早在一世纪的罗马，人们在提纯水银的时候就用粗麻制成的面具进行保护。在此之后的漫长时间里，空气过滤器也取得了进展，但其主要是作为呼吸保护器具用于一些危险的行业，如有害化学品的生产。1827年布朗发现了微小粒子的运动规律，人们对空气过滤的机理有了进一步的认识。

      空气过滤器的迅速发展是与军事工业和电子工业的发展紧密相关的。玻璃纤维过滤介质用于空气过滤于1940年10月在美国取得。50年代，美国对玻璃纤维过滤纸的生产工艺进行了深入的研究，使空气过滤器得到了改善和发展。60年代， HEPA空气过滤器问世，70年代，采用微细玻璃纤维过滤纸作为过滤介质的HEPA过滤器，对013微米粒径的粒子过滤效率高达99.9998%。八十年代以来，随着新的测试方法的出现、使用评价的提高及对过滤性能要求的提高，发现HEPA空气过滤器存在着严重的问题，于是又产生了性能更高的ULPA空气过滤器。目前，各国仍在努力研究，估计不久就会出现更*的空气过滤器。

      同时空气过滤器在微电子行业的重要性及应用不论是普通过滤器还是FFU，出厂前都要经过逐台扫描测试。国内目前没有扫描测试方法标准，能挤进芯片厂的过滤器厂家是按欧美标准对过滤器进行扫描测试的。芯片厂的人认为，过滤器传统检验方法用的试验粉尘本身就是污染源，所以芯片厂不买钠焰法和DOP法的帐。      

      空气过滤器在微电子行业的重要性及应用，空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌，但空气中海盐粉尘的颗粒比较大，普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业的理想地点应该远离海岸，可沿海地区经济发达，芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区，在过滤器上多花点钱就是了。

      空气过滤器本身的设计也取得了显著进展，其中zui重要的是分隔板的去除，即无隔板过滤器的发展。无隔板过滤器不仅消除了分隔板损坏过滤介质的危险，而且有效地增加了过滤面积，提高了过滤效率，并降低了气流阻力，从而减少了能量消耗。