臭氧发生器是用于制取臭氧气体的装置。臭氧易于分解无法储存，需现场制取现场使用（特殊的情况下可进行短时间的储存），所以凡是能用到臭氧的场所均需使用臭氧发生器。臭氧发生器在饮用水，污水，工业氧化，食品加工和保鲜，医药合成，空间灭菌等领域广泛应用。臭氧发生器产生的臭氧气体可以直接利用，也可以通过混合装置和液体混合参与反应。
臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧发生器成本远高于开放式。
臭氧发生器消毒的优点如下所述：
(1)作为优良的氧化剂和杀菌剂，臭氧的杀菌作用快、效率高，所需的浓度也较低，且可杀灭抗氯性强的病毒和芽孢。
(2)其消毒效用受pH值、水温及干扰物质的影响较小。
(3)可同时实现消毒、脱色、除臭、氧化破坏水中污染物、增加水的溶解氧等多种功能，有效改善出水水质。
(4)不会产生三±甲烷等副产物，也不存在残留导致二次污染的问题。
臭氧消毒的主要缺点如下所述：
(1)设备投资及运行费用高，管理维护水平要求较高。
(2)臭氧不具备持久的杀菌作用。
(3)臭氧发生器及投配装置较复杂，消毒后尚需投加少量消毒药剂，以维持水中所需的余氯量。
