近年来，已开发出仅用一台泵就能实现从大气到高真空的新型真空泵。一般说来，要获得高真空、超高真空和*真空，还是需要串联多台真空泵构成机组来实现正确了解泵的工作原理、主要性能、结构特点及分类，对于选择经济适用的真空泵，实现所需真空，是非常重要的。
真空泵的分类
气体传输泵：气体传输泵是一种能使气体不断吸入和排出泵外以达到抽气目的的真空泵
容积真空泵：是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气、压缩和排气的装置，气体排出前被压缩。
往复式真空泵：利用活塞的往复运动，将气体吸入、压缩并排出，又称为活塞式真空泵。
旋转式真空泵：利用泵腔活塞的旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。这类泵很多，主要有油封式机械泵、干式真空泵和液环真空泵等几类。
动量传输式真空泵：利用高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给被抽气体或气体分子，使气体不断地从入口传输到出口的真空泵。
分子泵：利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。主要有牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵三大类。
喷射真空泵：利用高速射流把气体传输到泵出口的一种动量传输泵，适于粘滞流和过渡流状态。主要有水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类。
扩散泵：以油或汞蒸气作为工作介质。汞扩散泵不带分馏装置，油扩散泵有分馏装置
气体捕集泵：气体捕集泵是一种将被抽气体吸附或凝结在泵内表面上的真空泵，主要有两种形式。
吸附泵：主要是依靠具有大表面积的吸附剂的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵，如吸附阱、吸气泵；还有连续不断的形成新鲜的吸气剂膜的捕集式真空泵，如溅射离子泵、热蒸发钛升华泵等。
低温泵：利用低温表面来冷凝捕集气体的真空泵，如冷凝泵和小型制冷机低温泵等。
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