Monarc 阴极荧光系统

Monarc 阴极荧光系统性能优点

快速获取高质量数据

• 以优异的空间分辨率（<10 nm="" 1="" br="">（0.1 nm）采集 CL 数据

• 采集同时具有角度和波长分辨能力的 CL 数据

• 相较前代技术，以高达30倍的更快速度采集超光谱
（hyperspectral）数据

操作简便

• 通过全自动的光路对准和基于配方驱动的操作，得到优化的结果

• 恒常对准的光路为短期与*工作带来可重复的结果

• 大视野提高数据采集通量，并简化用户的工作流程

与其它信号的精确关联

• 同时侦测多种信号，对物理性质或成分信息与CL数据进行关联成像

• 不需折衷妥协——在进行CL测量的同时，充分利用 SEM 的 in-lens探头

1. 该幅偏振过滤的 CL 图像证明了 Monarc 能够提供空间分辨率优于10 nm 的 CL 数据。图像来自尺寸在 100 nm 左右的星状金纳米颗粒两组正交线性偏振发光的颜色叠加。

Monarc 阴极荧光系统特色功能

• 角度分辨（angle-resolved CL，ARCL）：在远低于光学衍射极限的尺度上理解光与物质的交互作用——相较前代技术，400x 更大视野，且不产生实际分辨率损失

• 波长-角度分辨（wavelength- and angle-resolved CL, WARCL）：跨越多重观察角度与波长，对光与物质的交互作用进行可视化——归功于*的光路设计，以前无法做到或非常难以实现的表征手段，在 Monarc 上成为常规工作

• 偏振过滤：获知例如光波段担任纳米天线、光子晶体等深度次波长结构的发光偏振性能

应用领域
• 光电材料研发

• LED 和激光失效分析

• 显示与照明

• 光-物质交互作用基础研究

• 纳米光子学

• 光子晶体

• 地质科学-痕量元素分布

• 光伏材料表征

• 荧光技术

Monarc 配备两种不同型号，满足不同应用需求：

Monarc
适合于地质科学与面分布成像应用，Monarc 型号拥有不受谱分辨率影响的更大视野，并通过其新颖的波长过滤谱成像能力，提供更高空间采样的超光谱数据采集，性能大大超越基于前代技术的 SEM CL 探测器。

Monarc Pro
对于纳米光子学与光电子材料应用，Monarc Pro 更为适用，由于其提供了更高的灵敏度与谱分辨率；并具备*的波长-角度分辨分析能力以及偏振过滤选项。