JSM-7610FPlus扫描电子显微镜

JSM-7610FPlus扫描电子显微镜统经过改进，实现了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的进一步提升，以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统，提供稳定的高空间分辨率观察和分析。此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。

半浸没式物镜在样品周围形成强磁场，因而可以获得超高分辨率。

er Optics 是*的电子光学系统，既实现了高倍率观察又能进行多种分析。

浸没式肖特基场发射电子枪，可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪（FEG）的探针电流，光阑角控制镜（ALC）在探针电流增大时也能保持小束斑，两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统，从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的小物镜光阑而不需要改换。

JSM-7610FPlus扫描电子显微镜浸没式肖特基场发射电子枪銃   

浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合，可以有效地收集从电子枪内发射的电子。
光阑角控制镜（ACL）
光阑角控制镜（ACL）配置在物镜的上方，在整个探针电流范围内自动优化物镜光阑的角度。因此，即使照射样品的探针电流很大，与传统方式相比，也能获得很小的电子束斑。

即使探针电流很大，束斑直径也很小
长时间分析时稳定度也很高