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伯东企业(上海)有限公司
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上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 射频离子源 RFICP 100, 离子束可选聚焦, 平行, 散射.KRI 射频离子源属于大面积射频离子源 (栅网离子源), 离子束流: 350 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 流量(Typical flow):5-30 sccm采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长.......
伯东 KRI 射频离子源 RFICP 100 技术参数:
型号 | RFICP 100 |
Discharge | RFICP 射频 |
离子束流 | >350 mA |
离子动能 | 100-1200 V |
栅极直径 | 10 cm Φ |
离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 5-30 sccm |
通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 | < 0.5m Torr |
长度 | 23.5 cm |
直径 | 19.1 cm |
中和器 | LFN 2000 |
* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量
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