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伯东企业（上海）有限公司
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HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列为百万周期真空闸阀, 专为高真空应用而设计, 特别适合 1x10-9 mbar 高真空且烘烤温度不超过 150C的应用.HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列内部没有机械锁, 非常适合对于要求无振动运行的半导体和敏感工艺. 所有活动关节的轴都经过硬化处理, 减少了颗粒物的产生并提供了更平稳的驱动.清洁和高密封性保证 HVA ......
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品特点:
1. 直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器.
2. *的气缸设计使冲击和振动减少到最小.
3. HVA真空闸阀 21200 系列真空腔内没有机械锁, 因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业.
4. 所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易.
5. HVA 不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业界最小的内部表面区域.
6. 阀体和所有内部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的完整性.
7. 在保养方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来.
8. 阀门驱动手动、气动可选.
9. 标准或定制法兰满足不同应用.
10. HVA 标准周期真空阀门 21200 系列可任意位置安装.
11. 电磁阀控制并带有手动超控.
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