硅晶片真空高温烤箱

一、硅晶片真空高温烤箱技术参数:

型号：HE-ZK-300/400/500/600/800/1000

内箱尺寸（宽*高*深）：300X300X300、400X400X400、500X500X500、600X600X600、800X800X800、1000X1000X1000（MM）

外形尺寸（宽*高*深）：600X470X710、700X570X810、800X670X910、900X870X1010、1100X1070X1210、1200X1270X1410（MM）

隔层：箱内分为二层，配不锈钢网板二个，可活动抽出；

门上有玻璃视窗：钢化玻璃（无照明）

内材质为：304#不锈钢工业板，加强处理，抽真空不变形；

外材质为：冷轧钢板,厚1.2mm,粉体烤漆处理；

保温材质为：耐高温岩棉，保温效果好；

密封材质为：耐高温硅胶条；

使用电源：AC 单相 三线 220V 50HZ

二、硅晶片真空高温烤箱控温系统

1)  温度范围：室温～200℃

2)  升温速率：RT～100℃（约15～20分钟）

3)  显示精度：0.1℃

4)  箱内温度均匀度：±5℃

5)  加热体：为耐高温发热管

6)  加热技术：采用三面加热的热辐射的方式

三、真空系统

1.真空度范围：0.1Kpa～101Kpa（常压为101PKa，真空表为负压表即显示相对值压力）

2.真空表显示精度：0.1KPa

3.漏气率：≤500Pa/小时

4.解压方式：直接充入环境空气

5.真空泵：1台（XD-40）

四、设备结构

1.内箱采用SUS304#不锈钢材料，外壳采用冷轧钢板制造，表面静电喷塑；

2.本机箱门松紧可由客户任意调节，整体成形的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度；

3.控制面板采用微电脑智能PID控制，具有定时和超温报警功能；

4.箱门采用钢化、防爆双层玻璃门，使观察工作室培养物品一目了然。

五、保护系统

A.超温保护系统：机台在整机的供电输入处，加装了超温保护系统及功率过大时自动熔断保险丝系统；

B.高温保护系统：当由于外力原因导致温度失控时，本系统会在超过设定温度10度时自动停止加热供电，从而保护你的产品及机器的安全；

C.过流保护系统：当由于外加电压过高或其它原因导致整机的功率超出正常功率时，本系统会自动断电保护整机的工控组件不被损坏。