纳米压印机

NIL Technology 公司简称NILT，位于北欧小国丹麦，NIL Technology 是一家专门从事生产纳米压印机、纳米结构微加工掩膜和各类标准纳米压印模板的高科技公司。其纳米压印设备（Nanoimprint lithography Tools）产品主要有CNI系列紫外/热压压印机，以及EZI-UV NIL纳米压印仪器。

丹麦NILT的压印机能够实现纳米压印、热模压、滚印、注射模塑和紫外压印等多种功能，适用于多种应用。

NILT 纳米压印机 主要应用：

压印易碎的材料、在硅片上制作纳米级光栅

制作压印模板、掩膜

热压高深宽比结构图形

微结构加工

CNI系列压印机（UV & 热压）， 纤细轻巧

CNI V2.1 是一款专为实验室开发的即插即用，纤细轻巧的纳米压印工具，其能低成本且高效地实现高精度的纳米热压工艺。它兼具热压印和紫外压印两种功能，而且可以快速的实现真空环境下的压印。这个系统可以方便的根据不同需要进行配置，闲置时也易于收藏。

它可以处理各种不同形状、格式以及直达100mm（4英寸）的模板和基片。该系统只需要手动装入和取出模板和基片，其余的操作都是自动化进行，同时附带软件还提供了详细的参数设置，让客户对压印过程实行全名的操控。

特点：

热压印（温度达240℃）和 紫外压印（365nm）两种功能

真空压印（1mbar）

即插即用，纤细轻巧，实验设计、记录、分析的好帮手

EZI-UV NIL微加工压印机

EZI UV Nanoimprint System PL400 / 600

EZImprinting是一款具有超高良品产率（> 99％），带有一步自动脱模制式（ONE-STEP AUTO RELEASE）特色的纳米压印光刻平台，可精确运作和处理的10纳米以内的图形。

特点：

可处理10nm尺寸内的图形，99%的良品率

全晶圆压印，6英寸(NTP-600) ，4英寸（NTP-400），

一步自动脱模（ONE STEP AUTO-RELEASE）技术，避免基板和模板损伤

PLC可编程式软件和触控界面

可配合软硬模板 ，适合不同大小基板和模板

NILT CT100 - 脱模处理设备（Release Agent Treatment Tool）

为了达到高质量的压印效果，必须保证模具表面的低能量，以确保模具容易从压印抗蚀剂中脱离。 CT100脱模处理设备是一种易于使用的全自动工具，可在15分钟内对模具进行防粘涂层。

NILT PC100 - 等离子清洁设备（Plasma cleaning tool）

PC100等离子清洁设备是一款具有下游等离子体的批量清洁工具（晶片垂直放置在腔室内）。 下游等离子体不会攻击任何有机材料，包括晶片表面上的金属。 该工具可配备3 nm滤光片，以确保清洁后晶圆上的颗粒污染极低。

NIL仿真软件

NIL Technology提供Simprint仿真软件，节省宝贵的时间来优化压印参数，