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详细介绍
PI P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器
具有孔径的高精度XY扫描仪
PI公司介绍：
PI位于德国，是一家典型的高科技中型企业。公司的规模使其能迅速灵活地响应客户的要求，同时还可满足已建立并经测试的流程的可靠性和安全性要求。PI因其产品的高质量和客户关系的整体可靠性而闻名。
产品描述
X和Y向上的行程达100微米×100微米 电容式传感器使分辨率达0.1纳米
带直接驱动器的高速版本 可提供真空兼容和非磁性版本 并联运动实现更高精度和动态
导向误差主动补偿的并行计量 零间隙，高精度柔性铰链导向系统 50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用
应用领域
- 扫描显微镜
- 共聚焦显微镜
- 掩模/晶圆定位
- 表面测量技术
- 纳米压印
- 显微操纵
- 图像处理/稳定
- 高运动平面度和直线度的纳米定位
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、*稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动态和精密的运动。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对所受到的冲击和振动不敏感。它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
直接位置测量带来大精度
运动直接在运动平台上测量，*不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
规格
P-733.2CDP-733.2CL | P-733.2DD | 单位 | 公差 | |
|---|---|---|---|---|
主动轴 | X, Y | X, Y |
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运动和定位 |
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集成传感器 | 电容式 | 电容式 |
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-20至120 伏时的开环行程 | 115 微米×115 微米 | 33 微米×33 微米 |
| +20 % / -0 % |
行程，闭环 | 100 微米×100 微米 | 30 微米×30 微米 |
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分辨率，开环 | 0.2 | 0.1 | 纳米 | 典型值 |
分辨率，闭环 | 0.3 | 0.1 | 纳米 | 典型值 |
线性误差（X、Y） | 0.03 | 0.03* | % | 典型值 |
重复精度（X、Y） | <2 | <2 | 纳米 | 典型值 |
螺距（X、Y） | <±3 | <±5 | 微弧度 | 典型值 |
偏转角（X、Y） | <±10 | <±10 | 微弧度 | 典型值 |
机械特性 |
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刚度 | 1.5 | 20 | 牛/微米 | ±20 % |
谐振频率，空载 | 500 | 2230 | 赫兹 | ±20 % |
带120 克负载时的谐振频率 | 370 | – | 赫兹 | ±20 % |
带200 克负载时的谐振频率 | 340 | 1550 | 赫兹 | ±20 % |
运动方向上的推/拉力 | 50 / 20 | 50 / 20 | 牛 | 大 |
驱动特性 |
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压电陶瓷 | PICMAP-885 | PICMAP-885 |
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电容 | 6 | 6.2 | 微法 | ±20 % |
其他 |
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工作温度范围 | -20 到 80 | -20 到 80 | °C |
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材料 | 铝 | 铝 |
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质量 | 0.58 | 0.58 | 千克 | ±5 % |
电缆长度 | 1.5 | 1.5 | 米 | ±10 毫米 |
传感器/电压连接 | CD版本：Sub-D 25W3（公头） CL版本：LEMO | Sub-D25W3（公头） |
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*电控 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712 |
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* 带数字式控制器。 使用模拟控制器测量的直接驱动平台的非线性度高达0.1%的典型值。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。
订购信息
带直接驱动器
P-733.2DD
高动态精密XY向纳米定位系统，30 微米 × 30 微米，直接驱动，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器
带Sub-D连接器（公头）的版本
P-733.2CD
精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器
带LEMO连接器的版本
P-733.2CL
精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器
配件
P-733.AP1
接装板用于将P-733 压电工作台安装在M-545 XY位移平台上
线性定位器，真空兼容达10-9百帕
P-733.2VL 精密XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器，真空兼容至10-6百帕
P-733.2VD 精密XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器，真空兼容至10-6百帕
P-733.2UD 精密XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕
北京汉达森公司简介
北京汉达森机械技术有限公司是一家专业从事欧洲工业产品进口贸易的公司。主要产品有工业自动化设备、机电设备、液压设备、电气设备和零部件等产品。公司总部于2007年在德国成立。公司自成立以来，一直以德国公司的身份为国内一些贸易商，设备商及终端客户提供产品代购服务。
公司代理
NILOS轴承
NILOS密封件
NILOS轴承盖
NILOS-RING 16036 180 280 31
NILOS-RING 16036 AV 267 220 180 5 0,5
NILOS-RING 16036 JV 200 230 280 5 0,5
NILOS-RING 16038 190 290 31
NILOS-RING 16038 AV 275 220 190 5 0,5
NILOS-RING 16038 JV 203 243 290 5 0,5
NILOS-RING 16040 200 310 34
NILOS-RING 16040 AV 286 235 200 5 0,5
NILOS-RING 16040 JV 220 255 310 5 0,5
NILOS-RING 16044 220 340 37
NILOS-RING 16044 AV 314 260 220 5 0,5
NILOS-RING 16044 JV 250 285 340 5,3 0,5
NILOS-RING 16048 240 360 37
NILOS-RING 16048 AV 335 280 240 5 0,5
NILOS-RING 16048 JV 260 315 360 5,8 0,5
NILOS-RING 16052 260 400 44
NILOS-RING 16052 AV 369 285 260 5,8 0,7
NILOS-RING 16052 JV 290 342 400 6,2 0,7
NILOS-RING 16056 280 420 44
NILOS-RING 16056 AV 390 345 280 5,3 0,7
NILOS-RING 16056 JV 310 360 420 7,7 0,7
NILOS-RING 16060 300 460 50
NILOS-RING 16060 AV 440 388 300 8 0,7
PI P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器
赵晓东
北京汉达森机械技术有限公司 北京市顺义区南法信镇金关北二街3号院4号楼2层207室
销售部 赵晓东
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