高精度真空电容式压力计美国西特

高精度真空电容式压力计美国西特  高精度真空电容式压力计美国西特

特性

·高精度：±0.5% 读数
·张紧的膜片保证优异的性能
·工作温度补偿范围宽
·回路噪声低，响应快
·不易受环境条件变化影响
·出色的抗过压设计
·符合 CE 和 RoHS 规范
耐化学品的 InconelTM 设计
精确的低真空测量
压力接头
Setra 的 730 型是一款高精度的电容式压力计（亦称电容式膜片真空计 (CDG)），适合在光伏、半导体和工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空范围。该产品读数精度达 ±0.5%，分辨率高，优于同类产品。 730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半导体加工过程中的腐蚀性介质。由于采用直接测量设计，它能精确测量介质，不受应用中气体混合物成分的影响。
适合苛刻应用的高性能产品
采用单膜片可变电容感应元件，适用于苛刻的半导体和工业真空应用。它具有读数精度和分辨率高、动态范围宽的特点，使之成为关键制造过程中的理想选择。
Inconel® 设计保证通用性
所有接液部件均采用 Inconel TM 材料，因此对半导体和工业真空过程中的腐蚀性介质具有*的耐受性。
Inconel TM 材 料 结 合 全 焊 接 结 构， 确 保 730 型 在 这 类应用中的长使用寿命。
直接压力测量
内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业电容式压力计不同， 730 型测量直接压力，不受被测混合气的影响，这使其精度优于间接测量型压力计。
耐压

范围 耐压（PSIA）

所有范围 45 PSIA
特性
·高精度：±0.5% 读数
·张紧的膜片保证优异的性能
·工作温度补偿范围宽
·回路噪声低，响应快
·不易受环境条件变化影响
·出色的抗过压设计
·符合 CE 和 RoHS 规范
应用空包装
耐化学品的 InconelTM 设计
精确的低真空测量

压力接头

技术规格：
电压输出
电路3线
激励14-30VDC;9-30VDC
输出0-10VDC**;0-5VDC**
输出阻抗<1Ω
功耗<200mW
CE认证89/336/EEC重工业标准
MODEL720的环境参数
工作温度-20～+80℃(-4～+176℉)
存储温度-40～+125℃(-40～+257℉)
冲击50g
MODEL730的温度影响
补偿范围0～+50℃(+32～+122℉)
零点漂移±0.005%FS/℃(±0.01%FS/℉)
量程漂移±0.027%RDG/℃
物理参数
壳体不锈钢
电气连接9针D型插座
压力连接见订购指南
接液部件InconelRRRRR
压力介质与InconelRRRRR相容的液体或气体.InconelRRRRR接液部分仅配0.5″管的压力接头.选择其它的压力接头需要加不锈钢.
重量(约)137克
腔体体积<6.2立方厘米
MODEL730的性能参数
精度±0.5%FSBBBBBBBBBB±0.25%FS(可选)
响应时间20ms
*稳定性±0.5%FS/年
分辨率无限,仅受输出噪声的限制(0.01%FS)

压力介质

与用于Inconel® 0.5"管道选项。其他接头选项会添加不锈钢

认证CE， RoHS

应用

·半导体处理室

·石化

·等离子体灭菌器

·真空包装