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详细介绍
OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，供气系统为三路浮子供气系统，其真空度可达到 10-2 torr。
技术参数
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| 功率 | 2.5 KW |
| 电压 | AC 208-240V 单相, 50/60 Hz |
| 加热元件 | 掺钼铁鉻铝，表面涂有氧化锆涂层，可以的延长仪器的使用寿命 |
| 工作温度 | 1200℃ |
| 连续工作温度 | 1100℃ |
| 升温速率 | <= 20 ℃ |
| 炉管材质和尺寸 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
| 加热区长度 | 400 mm |
| 恒温区长度 | 150 (+/-1 ℃) |
| 控温系统 | PID30段程序化控温 |
| 控温精度 | +/- 1oC |
| 真空密封系统
| 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀），漏气率6 mtorr/min
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| 真空泵
| 采用双旋机械泵，机械泵上安装有进口的油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的最小微粒直径为0.3微米。 |
| 数字式真空显示计
| 美国进口CVM-211,已安装在不锈钢法兰上，测量范围为10-4Torr~1000Torr |
| 混气系统
| 三个浮子流量计(准确率4%FS) 三路浮子量程分别为 10-100 cc/min. 内部安装有一混气罐 |
| 尺寸 | 炉体尺寸: 550 x 380 x 520 mm, 混气系统尺寸: 600x600x597 mm |
| 净重 | 约60kg |
| 运输重量 | 200 |
| 质保期 | 一年质保期（不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件） CE Certificate |
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