GSL-1100X-8.5-SR是一款CE认证的滑轨炉，其炉管外径为 8.5" O.D的滑轨真空管式炉， multi-gas fedthrough SS tube for LPCVD processing， 它可以在6“的基片上生长多种薄膜（在不同气氛下）. 它温度 1100°C， 采用30段可编程PID数字温度控制器，可以设置30段升降温程序，控温精度+/-1°C。
技术参数
| 炉体结构 | |
| 工作电压 | AC 220V |
| 功率 | 8KW |
| 炉管规格 | - 8.5" O.D x 8.2" I.Dx 51" 长
- 标配内包含一只石英管, 多余的管子可单独订购
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| 加热元件 | NiCrAl 电阻丝 |
| 工作温度 | -
极限温度: 1100°C -
工作温度: 400 -1000°C -
升降温速率: 10°C/min |
| 加热区 | -
加热区总长: 900mm (35'') -
恒温区长度: 中心350mm (精度±1°C) - 在1000℃时炉膛温度分布曲线
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| 控温仪 | -
采用30段可编程PID数字温度控制器 -
设有一个额外的温度校准检测系统 双K型热电偶测温. -
温控精度: ±1°C -
软件接口模块和PC机不在标配内需额外订购 可选: PC接口和软件 |
| 密封法兰和进气接口 | - 不锈钢真空密封法兰双硅胶密封圈密封真空度可达到 (机械泵：10-2 torr、分子泵：10-4 torr). 真空泵不包含在内
- 右端法兰上设有一个铠装热偶检测口和KF25真空接口. 标配内包括KF25真空挡板阀和1.2 米KF-40 不锈钢真空软管(波纹管)
- 包括一个石英管堵,设备使用时右端必须安装管堵阻止热的辐射
- 左侧法兰安装在可移动的滑轨机构上. 法兰上设有五路进气接口每个进气口采用精密不锈钢针阀密封.
- 左端密封法兰上装有4片磨砂石英挡片由于阻止热辐射. P建议采用水冷机组，为了美好的未来，请节约每一滴用水
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| 产品尺寸 | |
| 净重 | 354Kg |
| 保修期 | 整机保修一年，相关耗材除外。（如密封圈、炉管等） |
| Certificate | CE |
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