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详细介绍
OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速热处理管式炉(4" 石英管)， 配有高真空系统（机械泵 +分子泵) ，带KF-D25 真空法兰.它是专为半导体或太阳能电池基片（达3“）的退火而设计，采用10KW红外灯管加热，升温速度为 120°C/second. 30 段温度控制，精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
技术参数
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炉子 | 结构 |
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| 加热元件 | 8根红外灯管(D=10 L=300 T =200, mm) | ||||||
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工作温度 |
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| 升温速度 | 室温~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃ 10oC/sec | ||||||
| 降温速度 | 64°C/min (在真空: 200 mtorr下), 117°C/min (在一个大气压下) | ||||||
| 加热区 | 4" X12"恒温区（ +/-5°C ） | ||||||
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温控仪 |
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石英管和样品架 |
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| 真空法兰 |
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| 流量计 | 装在前面板上一路流量计调整范围 16 - 160 ml/min | ||||||
| 电源 | 208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 10 KW Max. (> 60A 保险) | ||||||
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高真空系统 | 结构 | 移动架尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(W), mm 分子泵控制面板 : LCD 显示 前级泵 和 分子泵 安装在移动架里面. | |||||
| 真空度 | 6.3E-5 mbar ( 4" RTP 管式炉在 40 minutes内) | ||||||
| 控制面板 | 一键操作 - 按一下“start"键，前级泵和分子泵便开始工作. 系统控制转速 - 根据真空度和腔体的漏气情况自动调整转速. 自保护功能 - 如果真空腔体漏气率太高不能达到高真空，系统会自动保护，避免因过热或过流而造成损坏。 LCD 显示屏 - 双线性参数检查界面，使操作更简单. | ||||||
| 启动时间 | 2 minutes | ||||||
| 前级泵在10mbar下的流速 | 3.8 L/min 50Hz ， 4.4 L/min 60Hz | ||||||
| 电源 | 110V AC 和220V AC 任意切换, 50/60Hz | ||||||
| 功率 | : 110Watt | ||||||
| 包装 | 重量和尺寸 | RTP 炉子: 110 lbs, 760 x 330 x 530mm (30" x 13" x 21" inch) L x W x H 高真空系统: 40 lbs, 600 x 600 x 700mm (24" x 24" x 28") L x W x H | |||||
| 保修期和认证 | 电气部分一年保修期. (耗材：如石英管，"O"圈和加热灯管等不在保修范围内） CE 认证 | ||||||
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