ZXL-830D型氦质谱检漏仪

ZXL-830D型氦质谱检漏仪

一、产品介绍

ZXL-830D型是一款配置无油干泵的氦质谱检漏仪。适用于对高清洁的真空设备进行检漏。

二、主要技术指标

1.最小可检漏率：2×10-12Pa·m3/s
2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3.启动时间：≤3min
4.响应时间：≤1s
5.检漏口的压力：1500Pa
6.极限压强：5×10-4Pa
7.电源要求：220V，50Hz，单相，10A
8.工作环境：5-35℃
9.相对湿度：≤80%
10.外形尺寸：550（W）×420（D）×700（H）
11.重量：65kg
三、主要配置

1.进口检漏仪分子泵
2.进口干泵
3.配置标准漏孔
4.美国AD放大器
5.采用质谱模块
6.台达触摸彩屏