8寸奥林巴斯晶圆检查系统

8寸奥林巴斯晶圆检查系统特点

●适应范围广、搭配灵活，8寸奥林巴斯晶圆检查系统具有高度实用性和高度可靠性。

●8寸奥林巴斯晶圆检查系统传输各种尺寸的硅片

基于硅片的尺寸，AL120系列晶圆检查系统有3种基本机型，单200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼容（AL120-L86）、单150mm或以下尺寸（AL120-L6）。每一款都是为了传输硅片已经进行显微镜检查而设计。正面宏观和背面宏观检查均可适用与各种尺寸的硅片。

●8寸奥林巴斯晶圆检查系统可以传输超薄的硅片，即薄至90um

为了应对更具有挑战性的超薄硅片，奥林巴斯晶圆检查系统特殊设计了传输手臂，可以应对25片装的200mm的片盒以及薄至90um的硅片，并完成安全传输和显微镜检查。可通过面板预设多达10种不同厚度的硅片信息。

●精密的能力，增强宏观检查的功能

新款的具备宏观检查功能的机台（LMB型）具有360度自动旋转而完成硅片的每面宏观检查。这一设计可以方便的发现硅片正反面上的缺陷和颗粒。另外，可以通过使用摇杆将硅片倾斜30度进行宏观检查。

●LCD显示屏提供精度和操作方便性

LCD显示屏提供给操作者更直观的视觉感受，使得奥林巴斯晶圆检查系统检查项目和次序一清二楚，以及安装调试所需要设置的参数也一目了然。检查结果、包括操作者输入的宏观和微观的缺陷记号一并可以显示在LCD显示屏上，方便操作者的回顾。

●精密的可靠性

对于硅片的安全性，AL120系列晶圆检查系统采用新的两种硅片检测方式：硅片的厚度以及在片盒中的位置。传输前先扫描硅片在片盒中的位置。选购的载物台自动锁死功能提高了硅片传输到真空载物台的安全性。

●强大和可靠的显微镜

奥林巴斯半导体检查显微镜MX61通过不同的观察方式：明场、暗场、微分干涉、红外和深紫外，都可以呈现出高清晰度和高解析的图像。配备电动物镜转盘，与显微镜主机的孔径光澜具有联动功能，每一次物镜的切换，孔径光澜也会自动变换。

●符合SEMI S2/S8 和RoHS标准

AL120系列晶圆检查系统设计不单只重视传输中的硅片的安全，也保证操作者的安全，*符合SEMI的S2和S8标准，同时也满足了Rohs标准。

8寸奥林巴斯晶圆检查系统技术规格