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详细介绍
检测大尺寸样品 – 拥有自动聚焦系统且满足超净室等级要求
分析从最小的 MEMS 传感器到超大 XXL 晶圆，或甚至整块平板显微器，其间不会对样品造成破坏。借助 300 mm 的横向移动距离和 254 mm 的垂直深度，您可以在 Axio Imager Vario 下检测大量样品。一体化机柱设计确保了稳定性。在超净室内检测晶圆的应用中 – Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证，并满足洁超净室等级 5 的要求。利用驱动 Z 轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至更佳聚焦位置。
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