详细介绍
产品介绍
在线真空等离子清洗机产品参数:
电源系统 | 功率 | 13.56MHz 0-600W (射频电源) |
真空系统 | 真空管路 | 全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管 |
材质 | 铝合金 | |
密封性 | 一体成型 | |
腔体体积 | 6L | |
产品尺寸 | 180-280mmX25-90mm(长x宽) | |
料盒尺寸 | 180-290mmX25*93X250mm(长X宽X高) | |
流道数量 | 4条 | |
电极板大小 | 340x500mm | |
等离子激发时间 | 等离子激发清洗时间 | 5Sec |
产量 | UPH | 480(蛇皮时间10S,4条流道时) |
清洗能力 | 水滴角 | 水滴角测试<12° |
流量范围 | 0-300SCCM | |
工艺气体 | 标配2路,可定制 氩气: 3bars 1L/min 氮气 : 3bars 1L/min | |
控制系统 | 控制系统 | PLC |
其它参数 | 电源 | AC 380V 5.5KW |
外形尺寸 | 1600mmX1200x1600 |
在线真空等离子清洗机产品介绍:
在线真空等离子清洗机共有6个部分组成,进料机械手,弹匣上料区,四通道流水线,上料机械手,真空腔及真空系统,控制系统。系统采用全自动运行方式,可与上下游生产工序连线,满足器件封装行业大规模生产要求,去除污物尺寸小于 1 μm 的 微残留颗粒和有机 薄膜,大幅度改善表面性质,提高后续工序中如焊接、 封装、 粘结的可靠性,从而保证电子产品在恶 劣环境状况下的高精度和高可靠性。 在线真空等离子清洗设备作为一种精密干法清洗设备,可以有效去除污染物,改善材料表面性能,且具有自动化程度高,清洗效率高、 设备洁净度高、 适应范围广等优势。
片式在线真空等离子的产品优势:
1 轨道宽度可调,可选择同时清洗四种不同宽度的产品;
2 片式清洗,清洗效果更明显;
3 单边上下料结构,无需更换料盒,清洗后的产品自动回到原来的料盒,杜绝混批;
4 双清洗托盘,一个清洗的同时另一个备料,提高生产效率;
5 一键更换产品,设备所有参数及设置自动加载,无需人工设定;
6 手动清洗与自动清洗均一键操作,操作使用更简单;
7 产品安全多重设计,确保不会造成产品变形损坏;
8 四条通道每个地方独立检测,准确判断问题所在;
9 设备安全多重设计,确保人身安全;
10 模块化设计,国际品牌配置,确保设备稳定运行。
等离子清洗工艺具有成本较低、容易使用、维护及保养费用低、环保等优点,可应用于芯片粘结工艺前、引线键合和覆晶封装工艺前的表面处理。与传统独立式的等离子清洗机相比,在线真空等离子清洗机具有自动化程度高、清洗效率高、设备洁净度高、适应范围广等优点,适用于大规模全自动化生产。