Q150GB手套箱专用高真空镀膜仪

Q150GB手套箱专用高真空镀膜仪

Q150T Plus是一款可安装在手套箱内的模块化镀膜系统，包括真空腔室模块、电源模块、触屏操作模块等；其中真空腔室模块装配在手套箱内，电源、机械泵和氩气接口通过手套箱后面的两个KF40接口连接；真空度可达5x10^-5mbar。可以溅射具有超细成膜颗粒的易氧化金属，适用于高分辨率成像。同样地，低散射可得到均匀而致密的无定形碳膜。

仪器特点：

•   模块化结构，用于安装在手套箱中

•   集成的手套箱压力监测

•   通过触摸屏控制面板进行远程操作

•   金属溅射和碳蒸发集成在同一个系统中

•   涡轮分子泵抽真空，可溅射各种易氧化材料和不氧化贵金属材料

•   高真空碳棒镀碳，用于扫描电镜和透射电镜的样品镀碳应用（可选碳绳）

•   可选金属蒸发头

•   真空闭锁功能，不使用时可使工作腔室处于真空状态，以便提高真空性能

•   镀制厚膜的能力，可预设溅射时间，一次真空条件下总溅射时间长达60分钟

•   集成的压力互锁开关-通过对手套箱压力监测实现互锁，出现泄漏时自动关闭真空泵

推荐应用：

•   扫描电镜高分辨率放大应用

•   TEM应用

•   FIB中镀保护性铂层

•   腐蚀、摩擦和磨损保护层的研发

•   医疗设备上的保护层

•   薄膜研究

•   EDX、WDS、EBSD分析

•   锂电池

Q150GB作为手套箱版本的镀膜仪，也是英国Quorum出品的认可的Q系列镀膜仪的一部分，数千家客户使用此类镀膜仪。Q系列旨在为SEM、TEM和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案，Q系列功能多样、价格合理且易于使用。这些产品科研用途。

对于非手套箱配套应用的镀膜仪，如：SEM应用的机械泵抽真空的喷金喷碳仪，请参见SC7620和Q150R Plus。对于FE-SEM应用所需的超细颗粒镀膜，建议采用高真空镀膜仪，请参见Q150T Plus或Q150V Plus；如需大腔室版本的镀膜系统，请参见：Q300T T Plus、Q300T D Plus、Q300T ES Plus和K975X/K975S。