超纯水设备是综合了各种技术优势而组成的设备，出水稳定、水质好、同时无废水，化学污染排放，有利于节水和环保，是水处理技术绿色革命。今天我们就一起介绍一下超纯水设备的处理步骤对超纯水机有更全面的认识。

原水：可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。

机械过滤：通过砂芯滤板和纤维柱滤除机械杂质，如铁锈和其他悬浮物等。

活性炭过滤：活性炭是广谱吸附剂，可吸附气体成分，如水中的余氯等，吸附细菌和某些过渡金属等。绿气能损害反渗透膜，因此应力求除尽。

反渗透膜过滤：可滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。由于绝大多数离子的去除，使离子交换柱的使用寿命大大延长。

紫外线消解：借助于短波(180nm-254nm)紫外线照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有机化合物，如甲醇、乙醇等，使其转变成CO2和水，以降低TOC的指标。

离子交换单元：已知混合离子交换床是除去水中离子的决定性手段。借助于多级混床获得超纯水也并不困难。但水的TOC指标主要来自树脂床。