名词解释

洁净氮气真空烘箱（又名:充氮真空烘箱）;其能提供洁净的真空环境，HOCHECK充氮真空烘箱能在450度以上提供真空无氧环境;被广泛的应用于半导体、医药、科研等行业，可同时实现真空、洁净、无氧和高温的烘箱。

主要应用

一般用于材料及产品的应力释放，特别是晶圆或者微电子材料的应力释放。在高温环境中，半导体及金属材料极易氧化，所以需要抽真空与充氮气联动加以保护。同样的这些材料也更容易受到灰尘污染，100级甚至更高的洁净度可保护这些材料不被污染。

基本要求

洁净度100级以上，真空度50KPar，可自动联动开启氮气阀门，温度:常温→230℃，整体不锈钢材料，可编程PLC控制器，多级过温保护系统。