种类用途

质谱仪是通过对样品离子质荷比的测定来分析其组成的一类仪器。实验室质谱仪种类很多，从应用的角度可以分为有机、无机、气体、同位素质谱仪几类。有机质谱是质谱仪中数量最多，应用广的一类，在线气体质谱也是质谱大家庭中*一种。在线气体质谱广泛的应用于残余气体分析（RGA）、催化研究（TPR、TPD、TPO）、环境尾气分析、气体纯度分析、反应动力学等。

在线质谱仪

离子检测器-- 法拉第杯（直接电测法）离子流直接为金属电极所接收，并用电学方法记录离子流大小。二次电子倍增器（二次效应电测法） 一定能量的正离子打击阴极的表面，产生若干二次电子，然后用多级瓦片状的二次电极（或称打拿极）使二次电子不断倍增，最后为阳极所检测。 二次电子倍增器的检测极限更低。好点的质谱会同时配备这两种检测器。

在线气体质谱仪基本上被国外垄断，关键技术还不能国产化，做的比较好有MKS 的Spectra 系列。