与其他化学消毒相比臭氧发生器的优点有：
杀菌能力高于甲醛、二氧化硫、高锰酸钾用氯制剂等消毒剂；
杀菌后剩余的臭氧会自行分解为氧气，不产生残留造成污染，这一点是任何化学消毒剂所*的。
与紫外线照射杀菌相比臭氧发生器的优点有：
1、臭氧到处渗透，没有死角。紫外线只有照射到物体表面且达到一定的照射强度标准才有杀菌效果。食品车间一般比较高大，致使紫外线照射强度远远不够，特别是距离远，照射产生很大死角，如加工案板下部等。臭氧为气体，渗透性强，扩散性好，浓度均匀，没有死角；
2、杀菌速度快。紫外线照射杀菌需要较长的作用时间，一般要照射6小时以上，而符合标准浓度的臭氧只需开机1小时以上；
3、高湿度下杀菌效果更好。 紫外线照射杀菌在环境相对湿度达到60%以上时，消毒效果急剧下降，湿度达到80%以上时反可诱使细菌复活。臭氧则相反，湿度越高，杀菌效果越好。这是由于高湿度下细胞膜膨胀变薄，其组织容易被臭氧破坏，这一特性对于食品行业中普遍存在的高湿环境特别适合；
4、有低浓度保洁功能。紫外线照射时生产人员必须离开现场，照射完成后无法用低功率的紫外线照射保洁；臭氧消毒时生产人员必须离开现场，消毒完成后可以调低臭氧发生量，用符合国家卫生标准的低浓度臭氧继续保持生产车间的空气清洁。
在于具有非常强的广谱杀菌效果
臭氧几乎对所有病菌、霉菌、真菌、病毒及原虫、卵囊都具有明显的广谱杀菌效果。臭氧是已知可利用的zui强的氧化剂之一，具有杀菌力强，不产生任何残留污染，可直接对食品使用等优点。臭氧可迅速而*清除空气中、物体表面的病毒及细菌。
可以快速杀灭常见的细菌。如：大肠杆菌、粪链球菌、葡萄球菌、沙门氏菌、绿脓杆菌、单胞菌、痢疾杆菌、枯草杆菌黑色变种芽孢、黑曲霉等；杀灭常见的乙肝抗原、甲肝病毒抗原、流感病毒、感冒病毒、脊髓灰质炎病毒、爱滋病毒等；杀灭各种霉菌。杀灭各种原虫和卵囊。
臭氧杀灭速度极快。且灭菌时间迅速无比，是氯的600倍，紫外线的三千倍。
近年业，臭氧在医药行业的应用得到快速发展。
臭氧杀菌消毒机理：臭氧杀菌过程为强氧化作用使微生物细胞中的多种成分产生化学，从而导致不可逆转的变化而死亡。一般认为，臭氧灭活病毒是通过直接破坏核糖核酸(RNA)或脱氧核糖核酸(DNA)物质完成的，而杀灭细菌、霉菌类微生物则是臭氧首先作用于细胞膜并将膜破坏，进而破坏膜内组织，直到杀死。
臭氧的安全使用
一、臭氧是无毒安全气体。臭氧浓度在0.15ppm时为嗅觉临界值，一般人都能嗅出。中国卫生标准是：0.15ppm，接触8小时以内符合卫士标准。浓度高时，臭氧会对人体呼吸有害。人员在明显感受到臭氧的刺激作用后应回避。
二、少量呼吸有益。在呼吸0.1ppm以下浓度臭氧时，对人体会有保健作用，有人把臭氧比作美酒。
三、安全使用臭氧杀菌机。因产臭氧量高，一般回避使用。可以任意设定杀菌时间。即在人离开时，在企业下班时，会自动产生臭氧，杀菌若干时间(杀菌时间长短任意设定)，并自动停止。一天中也可以杀菌任意次数。对于较大车间，工人工作时，可以短时间开机，长时间停止，交替使用，实现保洁使用。
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1、高效*
2、高洁净性
3、性能稳定寿命长
4、操作方便
5、对机器设备无不良影响
6、适用于种类防爆环境中
7、使用经济
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