天寒气相沉积镀膜冷冻机、低温冷冻机

天寒气相沉积镀膜冷冻机、低温冷冻机

-135℃水汽捕集泵   -135℃ Water vapor cryopump
（提供polycold冷媒及维修）
水汽捕集泵 又称：POLYCOLD、快速循环水汽深冷泵
应用原理:
    在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，
但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。
深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
    深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，
迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、
获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa）。
在实际应用当中，根据所放的位置不同可以分为两类：
1、水汽捕集器
    它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。
适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，
避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。 
2、低温冷阱
    放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。
由于系统处于真空状态，无需除霜装置。