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光刻机温度控制装置该如何选型

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  • 公司名称无锡冠亚恒温制冷技术有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       号AES-4535
  • 所  在  地无锡市
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2021/3/26 14:21:30
  • 访问次数830
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无锡冠亚恒温制冷技术有限公司是一家集研发、生产和销售为一体的GAO端装备制造企业,专业生产研发制冷加热控温系统、超低温冷冻机、半导体控温Chiller、新能源用控温控流量系统等专用设备,广泛应用于医药化工、半导体、新能源、储能、数据中心、太阳能光伏等领域。


无锡冠亚恒温制冷技术有限公司拥有数位在超低温、高低温开发方面具有丰富经验的高素质专业设计人员的研发队伍。特别是反应釜高精度控温为单一介质控制-90度~+250度连续控温,并且高精度线性控制反应釜物料温度。产品温度范围涉及-152度到350度。



我们的成功源自于不懈地帮助客户提高生产力。


制冷加热循环器、加热制冷控温系统、反应釜温控系统、加热循环器、低温冷冻机、低温制冷循环器、冷却水循环器、工业冷处理低温箱、超低温保存箱、药品稳定性测试箱、试验箱、培养箱、加热制冷恒温槽等设备。
产地 国产 产品大小 小型
产品新旧 全新 结构类型 密封式,立式
结构类型 密封式,立式 温度 常温冷水机
元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中,IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度(-85℃至+ 250℃)下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。光刻机温度控制装置该如何选型
光刻机温度控制装置该如何选型 产品信息

<strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong>

 型号AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
温度范围-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
温控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
温度转换时间-25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s
-45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s
-55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s
-70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s
-80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度:5℃~32℃  0~50%RH
空气处理能力7m³/h ~ 25m³/h  压力5bar~7.6bar
系统压力显示制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器西门子PLC,模糊PID控制算法
温度控制控制出风口温度
可编程可编制10条程序,每条程序可编制10段步骤
通信协议以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
温度反馈T型温度传感器
压缩机法国泰康/艾默生
蒸发器套管式换热器
加热器法兰式桶状加热器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀)
操作面板无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂冠亚混合制冷剂
外接保温软管方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(风)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
风冷型采用铜管铝翅片冷凝方式,冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W带W型号为水冷型
水冷冷凝器板式换热器(务必确保冷却水清洁)
冷却水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
电源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
电源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质冷轧板喷塑 (标准颜色7035)
温度扩展高温到 +300℃

 

<strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong>

光刻机温度控制装置该如何选型

光刻机温度控制装置该如何选型

  如何选择合适的工业冷水机组,在机组的设计上又应该注意哪些方面呢?

  1. 使用光刻机温度控制装置还是水冷式冷水机

  工业冷水机组的冷凝方式分为风冷式和水冷式,对应的设备也常被称为光刻机温度控制装置组和水冷式工业冷水机组,光刻机温度控制装置组的选型先要考虑是否适合采用风冷的冷凝方式

  2. 确定制冷量需求

  需要计算待控温设备实际应用所需要的制冷量是多少,通常可以根据客户所提供的制冷量或压缩机功率要求来直接确定,也可以根据实际工艺情况和经验来进行估算,需要注意的是通常所说光刻机温度控制装置组的制冷量指的是额定制冷量,还需要结合实际环境温度等因素来计算。

  3. 蒸发器的选择

  蒸发器类型:盘管式蒸发器 / 壳管式蒸发器 / 板式换热器

  蒸发器材质: 被冷却液体(载冷剂)是否有耐酸耐碱等防腐要求,需要采用不锈钢、钛管等特殊材料

  4. 循环水泵的选择

  应结合应用设备的管道、安装距离、控温精度等因素来确定光刻机温度控制装置组中冷冻水循环泵的流量及扬程。

  光刻机温度控制装置的选型还有其他许多需要注意的方面,如供电电压、冷媒是否有要求等等,在此不再一一赘述。

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