JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜
· *的JSM-7610F的光学系统经过改进，实现了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的进一步提升，以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统，提供稳定的高空间分辨率观察和分析。此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。
产品规格：
产品特点：
*的JSM-7610F的光学系统经过改进，实现了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的进一步提升，以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统，能提供稳定的高空间分辨率观察和分析。
此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。主要特点如下：
◇ 半浸没式物镜
半浸没式物镜在样品周围形成强磁场，因而可以获得超高分辨率。
◇ High Power Optics
High Power Optics 是*的电子光学系统，既实现了高倍率观察又能进行多种分析。
浸没式肖特基场发射电子枪，可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪（FEG）的探针电流，光阑角控制镜（ALC）在探针电流增大时也能保持小束斑，两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统，从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物镜光阑而不需要改换。
浸没式肖特基场发射电子枪銃
浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合，可以有效地收集从电子枪内发射的电子。
光阑角控制镜（ACL）
光阑角控制镜（ACL）配置在物镜的上方，在整个探针电流范围内自动优化物镜光阑的角度。因此，即使照射样品的探针电流很大，与传统方式相比，也能获得很小的电子束斑。
即使探针电流很大，束斑直径也很小
长时间分析时稳定度也很高
浸没式消特基场发射电子枪能获得稳定的电子探针
◇ 柔和电子束（GB:GENTLEBEAMTM）模式
柔和的电子束模式（GB模式）通过给样品添加负电压，从而使电子束在进行高分辨观察。
由于电子束在样品中散射区域减小，就会容易地观察样品浅表面的精细结构，能减少对热敏样品的的损伤，可以直接观察非导电性样品。
JSM-7610Plus 在GB模式下（1KV）的分辨率为1.0nm
GB 模式的效果
GB 模式在低电压下提高分辨率
左图一般模式，右图GB模式
增强了的低加速电压下的分辨率
◇ r-过滤器
新一代 r-过滤器 是由二次电子控制电极，背散射电子控制电极，过滤器电极组合而成的*的能量过滤器。当电子束照射样品时，从样品表面会释放出各种能量的电子，新一代r-过滤器 通过组合多个静电场使电子束保持在透射系同时还对样品中产生的二次样品和背散射电子进行选样和检测。
新新一代 r-过滤器最多能获得3倍于旧机型的信号量。
新一代 r-过滤器 检测信号的方法
◇ LABE检测器（选配件）
LABE（Low Angle BE）检测器能检测低角度背散射电子。在低加速电压下对样品表面精细的形貌信息，在高加速电压下对样品的组分信息都能进行高分辨观察。
利用LABE 检测器获取低角度背散射电子像
◇ 扩展性
能谱仪（EDS）
High Power Optics 能充分发挥EDS（SDD）检测器的特长，即使探针电流很大，也不容易饱和。使用低加速电压，大探针电液能在短时间内获取清晰的面分布图。下面的图像显示了在2分针内可以对镍基板表面上极薄的石墨烯薄膜进行分析。
使用基本型SDD nm2 检测器也能在短短的30秒钟内测试100nm厚的多层膜截面。
波谱仪（WDS）
由于High Power Optics 在大探针电流时也能提供很小的电子束斑，因此能充分发挥WDS的特长，使用WDS可以确认用EDS判断的样品的浓度差等。
阴极荧光系统（CL）
阴极荧光是电子束照射样品时产生的发光现象，从样品中发出的光经抛物面反射镜（聚光镜）聚焦后被检测出来。
下面的数据是金刚石（1KW）的二次电子图像和用衍射光栅获得的CL像。用低加速电压观察CL像，可以在高分辨率下观测到金刚石的表面缺陷。
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