产品简介
全新的一体化设计,具有优异的光学成像质量,方便使用的正像光学系统,是理想的检测半导体器件的工具,支持3 种激光波长,可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。可以广泛应用于半导体、电子、冶金等行业的制 造和研究领域。描述
● 人机工程头部
PSM-1000E双目观察头可以在3°- 30°转动,调整观察眼点的高度和观察方向,使操作者的使用更加舒适。
● 管镜
PSM-1000的管镜转盘上装有1X NUV、1X NIR和2X 管镜,三组管镜之间可以根据需要进行切换,切换简单、方便。其 中1X NUV对355nm和532nm波长进行了优化,1X NIR对532nm和1064nm波长进行了优化,当使用这3个波长的激光器 时,可以得到更好的激光透过率。
● 光路切换拉杆
通过推拉光路转换拉杆可以方便的对光路进行切换。当转换拉杆往外拉时,双目头和摄像接口的分光比为0:100, 此时从摄像接口上入射的激光的进入光路,提高了激光效率;当转换器拉杆往里推时,双目头和摄像接口的分 光比为50:50,此时即可用双目头观察,同时也可以在摄像接口上使用CCD摄像头或激光器。
● 偏光观察
主体上留有偏光插孔,插上偏光附件(选配件),可进行偏光观察。
● 调焦机构
PSM-1000的调焦机构转动舒适,工作可靠。调焦机构可承载45磅(20.4Kg),确保安装激光器和CCD摄像头后, 仍然能够正常工作。
● 转换器
PSM-1000采用4孔可调中转换器,使用随机配送的调中钥匙,可以很方便地调整物镜的齐中。
● 物镜
PSM-1000采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜,提供了优异的成像质量。关于物镜的具体参数请参照APO物 镜样本。
● 数码摄像系统
根据所使用的CCD摄像机的CCD尺寸,选择合适的摄像接头,安装在摄像接口上,组成数码摄像系统,就可以在电 脑、电视或监视器上同步观察。
● 照明系统
采用同轴垂直照明系统,光源采用外置冷光源。长达2m的照明光纤和光源遥控器(选配件)给PSM-1000带来更自由的 操作空间。
● 探测工作站
PSM-1000的主体部分可以安装在探测工作站上,进行硅片的测试。
● 激光装置
PSM-1000的摄像接口处装有激光安全定位销,双目头前留有安装激光安全滤色片的位置,并提供补偿垫片。无需专 用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全滤色片安装上。
注:在安装和使用激光器之前,请您仔细阅读激光器和激光安全滤色片的使用手册。由于在PSM-1000上使用激光器和 激光安全滤色片而产生的安全和性能问题,深圳市森东宝科技有限公司对此概不负责。
规格说明
铰链式 三目头 图像 正像 瞳距 调节范围 55-75mm 视场直径 24mm 分光比 可通过光路切换拉杆自由切换(双目头:第三目=100:0或50:50) 主体 管镜 1X(可对紫外及红外线进行优化),2X 激光的使用 拉出光路切换拉杆即可 可应用的激光 1064/532/355 nm NWR laser 调焦机构 粗微调手轮 调焦行程:50mm;粗动手轮4mm/转;微动手轮0.1mm/转 调焦机构承重量 20.5kg 摄像接头 C-Mount接头 照明系统 同轴垂直照明,可变孔径光栏 冷光源(选配) 150W冷光源照明器及工业显微镜光纤(2m) 物镜转换器 四孔物镜转换器,中心可调,可拆卸 目镜 10X 物镜 长工作距离平复消色差物镜 2X, 5X, 10X, 20X, 50X(选配) 重量 主体:6.8kg;冷光源照明器:2.5kg
与探针台搭配图: