脉冲激光沉积系统PL-7000
产品特点:
不锈标准钢SS304,SS316可选
CF8“为目标交换和维护,备用端口RHEED枪(CF4.5”)
RHEED屏幕(CF6“)。许多CF4.5”和2.75“空闲端口抽
速度主泵≥700I/sec的
涡旋泵+涡轮泵为后盾泵站
激光放射辐(CF4.5“)
厚度的显示器分辨率优于1A和0.1A/秒
负载锁2“晶圆处理系统
所有端口都是CD和铜垫片密封
脉冲激光沉积系统PL-7000
产品特点:
不锈标准钢SS304,SS316可选
CF8“为目标交换和维护,备用端口RHEED枪(CF4.5”)
RHEED屏幕(CF6“)。许多CF4.5”和2.75“空闲端口抽
速度主泵≥700I/sec的
涡旋泵+涡轮泵为后盾泵站
激光放射辐(CF4.5“)
厚度的显示器分辨率优于1A和0.1A/秒
负载锁2“晶圆处理系统
所有端口都是CD和铜垫片密封
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