piPC90 集成Baratron® 的压力控制器,集成压力显示器,可控制上游或下游压力。满量程范围:1000 Torr – 100psia,控制精度:满量程的±0.2%,通讯接口:DeviceNet、RS-485、模拟。
piPC99 集成Baratron® 的带流量监测的压力控制器,集成压力/流量显示器,可控制下游压力。压力满量程范围:1000 Torr – 100psia,流量满量程范围:10 – 30000sccm,控制精度:满量程的±0.2%,通讯接口:DeviceNet、RS-485、模拟。
640B 压力 / 641B 表读压力集成Baratron® 的压力控制器,可控制上游或下游压力。满量程范围:10 Torr – 100psia,控制精度:满量程的±0.2%。
649B 集成Baratron® 的带流量监测的压力控制器,可控制下游压力。压力满量程范围:10 – 5000Torr,流量满量程范围:10 – 5000sccm,控制精度:满量程的±0.2%。
DPC 双区压力控制子系统。集成了气动隔离阀,双Baratron® 的带流量监测的闭环压力控制器。用于硅片背面氦气冷却系统。