•a-Baratron® 压力传感器 (温度控制在 45 或 80 或 100°C),满量程范围: 0.1-1000 Torr,精度:读数值的0.10%。 Etch 专用传感器可选。
•627F 压力传感器 (温度控制在 45°C),满量程范围: 0.02-2000 Torr,精度:读数值的 0.12% 。
•E27F 压力传感器 (温度控制在 45°C) Etch 专用,满量程范围: 0.02-100 Torr,精度:读数值的 0.12% 。
•628F 压力传感器 (温度控制在 100°C),满量程范围: 0.02-2000 Torr,精度:读数值的 0.25% 。
•E28F 压力传感器 (温度控制在 100°C) Etch 专用,满量程范围: 0.02-100 Torr,精度:读数值的 0.25% 。
•629F 压力传感器 (温度控制在 45°C 或 100°C),满量程范围: 0.02-25000 Torr, 9针电气接口
•E29F 压力传感器 (温度控制在 45°C 或 100°C) Etch专用,满量程范围: 0.02-100 Torr, 9针电气接口
•624F 压力传感器 (带继电器触点控制,温度控制在 45°C),满量程范围: 1-20000 Torr,精度:读数值的 0.12% 。
•727A 紧凑型压力传感器 (温度控制在 45°C),满量程范围: 1- 1000 Torr,精度:读数值的0.5%.
•625F 压力传感器 (带继电器触点控制,温度控制在 100°C),满量程范围: 1-20000 Torr,精度:读数值的 0.25% 。
•728A 紧凑型压力传感器 (温度控制在 100°C),满量程范围: 1-1000 Torr,精度:读数值的0.5%。
•631D 高温型压力传感器 (温度控制在150或 200°C),满量程范围: 1-1000 Torr,精度:读数值的0.5%。可选带继电器触点控制