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EH 机械增压泵

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市万德泉科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/3/1 8:30:30
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深圳市万德泉科技有限公司是一家集真空技术开发、应用与贸易于一体的专业公司。产品广泛运用于真空行业、镀膜、太阳能、半导体、科学研究、电力行业、航空航天、制造等领域。作为多家的真空设备及真空仪器供应商的代理商,我们可以为客户提供的全套真空解决方案,解决客户真空应用的难题,并且使客户的成本降到。我们代理销售的产品如下:瑞士Inficon (英福康)膜厚控制仪及探头、石英晶振片、真空计、检漏仪、残余气体分析仪、真空阀门、真空连接件。美国Agilent(安捷伦,原瓦里安)涡旋式干泵、分子泵、氦质谱检漏仪。英国Edwards (爱德华)旋片泵、涡旋干式泵、分子泵、真空规管。瑞士VAT插板阀、闸阀、蝶阀、角阀等全系列真空阀门。 日本Hitachi Metals(原Aera)质量流量控制器。美国MKS质量流量控制器。美国SRS 四级质谱残余气体分析仪。美国Keyhigh 陶瓷压电阀。韩国ONE C TECH低温冷肼、压缩机和冷媒销售美国Angstromsciences磁控溅射阴极、靶材、反应气体控制器。我们能提供维修业务的产品包括:MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制仪维修、inficon真空计维修,Edwards真空泵维修、inficon检漏仪维修、AERA流量计维修。
EH 机械增压泵Edwards EH 机械增压泵采用的液力驱动,可实现高效的动力传送,在经济性、性能和紧凑性方面拥有优势。这些增压泵适用于高压力差的场合,这种高压力差使增压泵可以与前级泵同时启动,从而减少总体抽气时间市场价: 0.00价格:0.00型号: ......
EH 机械增压泵 产品信息

Edwards EH 机械增压泵采用的液力驱动,可实现高效的动力传送,在经济性、性能和紧凑性方面拥有优势。这些增压泵适用于高压力差的场合,这种高压力差使增压泵可以与前级泵同时启动,从而减少总体抽气时间

概述

EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。


应用

半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光

功能和优势

适用于在 0.01 50 mbar/0.0075 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

安静的无振动运行。

牢靠且防腐蚀。

*的轴封技术,处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到。

轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是*技术设备的制造商所需要的。

技术参数:

 型号
EH250 EH500 EH1200 EH2600 EH4200
排量(工作容积) 310 m3h-1/ 185 ft3min-1 505 m3h-1/ 300 ft3min-1 1195 m3h-1/ 715 ft3min-1 2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1 4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1
使用前级泵时的有效抽速 240 m3h-1/ 141 ft3min-1 350 m3h-1/ 206 ft3min-1 840 m3h-1/ 495 ft3min-1 1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1 3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1
泵的压力差 0-180 mbar/0-140 Torr 0-110 mbar/0-83 Torr 0-90 mbar/0-68 Torr 0-80 mbar/0-60 Torr 0-60 mbar / 0-45 Torr
进气口连接 ISO63 ISO100 ISO160 ISO160 ISO250
出口连接 ISO40 ISO63 ISO100 ISO100 ISO100
转速 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm
连续进气口工作压力 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr
出口压力 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr
推荐的前级泵 GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 GV80,E2M80 GV160、GV250、 GV250、GV400、 GV400、E2M275
E2M80、E2M175 E2M175、E2M275
电机功率
碳氢化合物 2.2 kW / 3 hp 2.2 kW/3 hp 3 kW/4 hp 11 kW/15 hp 11 kW/15 hp
PFPE 1.5 kW / 2 hp 1.5 kW/2 hp 3 kW/4 hp 7.5 kW/10 hp 11 kW/15 hp
ATEX 2.2 kW 2.2 kW 3 kW 11 kW 11 kW
防爆 3 hp 3 hp 4 hp 15 hp 15 hp
环境温度范围
工作 5至40°C/40至104°F 5至40°C/40至104°F 5至40°C/40至104°F 5至40°C/40至104°F 5至40°C/40至104°F
存储 -10至80°C/14至176°F -10至80°C/14至176°F -10至80°C/14至176°F -10至80°C/14至176°F -10至80°C/14至176°F
工作湿度 90% RH 90% RH 90% RH 90% RH 90% RH
推荐用油 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20
油容量
齿轮箱 1.25 l/1.3 qt 3.5 l/3.3 qt 3.5 l/3.3 qt
联轴器盖 1.5 l/1.6 qt 1.5 l/1.6 qt 1.5 l/1.6 qt 6.5 l/7 qt 6.5 l/7 qt
轴封储油器 0.125 l/0.25 qt 0.125 l/0.25 qt 0.125 l/0.25 qt 1.5 l/1.4 qt 1.5 l/1.4 qt
重量 61 kg/134 lb 74 kg/163 lb 74 kg/163 lb 308 kg/679 lb


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