合肥科晶 2英寸高真空磁控溅射头

合肥科晶 2英寸高真空磁控溅射头（HVMSS-SPC-2 2英寸高真空磁控溅射头）

产品概述：

HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头，可适用的靶材种类较广，如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。

合肥科晶 2英寸高真空磁控溅射头

特征：

· 采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作

· 采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均强场分布

· 磁体表面涂有一层保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命

· 标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配

· 安装是采用标准真空接头，便于操作

更换靶材较为简单，无需调整溅射头的高度

所需功率：

• DC（大）1000W
• RF（大）500W

大溅射电流：3A

溅射电压：100-1000V

溅射时腔体真空度：5-100 mTorr

尺寸：

• 阳极护套直径：3.5英寸
• 总长度：14英寸

靶材：

• 直径:2.0英寸(50.8mm)
• 厚度:对于非磁性靶材，大厚度为1/8英寸
  对于磁性靶材，大厚度为1/16英寸
• 靶材利用率：30%
• 磁铁:NdFeB 稀土磁铁

需要冷却水：

• 流速:0.8 GPM
• 进水温度:<20 ℃
• 水管:0.25" OD.

可选配件：

· 当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时，本公司会赠送一高真空快速接头

· 此快速接头的内径为0.75英寸，可将溅射头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1英寸，真空腔体的壁厚不得大于1英寸

循环水冷机，流量为16L / min ，水箱容积为6L

公司简介：
森玛特仪器（北京）有限公司由一群有着共同愿景的实验室仪器设备销售服务人员创建，秉承“共享共赢”的经营理念。旨在成为中国实验室仪器和设备行业专业技术和服务。从销售团队、运营团队、市场团队、产品支持到售后服务团队，全部受过系统的高等教育、严格的产品技术和优良的服务意识的培训。我们能够为客户提供优质的实验室全套解决方案。
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