实验室流化床CVD是由洛阳西格马高温电炉生产的实验室硫化用立式管式炉。物料在洁净的热气流（负压）作用下悬浮形成流化状态，其表面与热空气接触，受热均匀，达到了良好的热交换状态，从而有着的效率。制成的颗粒更均匀、细粉少、流动性更好。可用于小型实验，可实现制粒包衣,烧结或反应更充分，相对于普通管式炉反应更充分，实现了一机多用的功能。
流化床立式管式炉是由支撑架、下箱体和加热炉组成,加热炉腔内垂直设置有炉管,炉管下端设置下密封法兰,下密封法兰的一侧设有进气口,另一侧设置一支撑装置,支撑装置用于支撑下塞砖,炉管上端设置有一上密封法兰,上密封法兰的一侧设有出气口,另一侧设置一吊塞砖装置,吊塞砖装置用于固定上塞砖,在上塞砖和下塞砖之间设置有一多孔板;在加热炉下设可调节高度的支架,支架与下密封法兰的一侧连接。
反应气体和均匀地通过反应区，固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内，炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。
注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量等。
立式管式炉
流化床管式炉应用
1200度流化床管式炉是一款流化床立式开启式管式炉，是针对粉末表面沉积的CVD实验、粉末包覆等，炉管为高纯石英管，炉管内部焊接有一多孔石英板（称砂芯），石英板的孔径为10um左右（孔径可按照粉料实际目数选择）.粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行包覆实验。
流化床管式炉技术参数
| 电炉名称 | 实验室流化床CVD管式炉 Fluidized bed tubular furnace |
| 型号 | SGM FDTF1200 |
| 电炉结构 | 立式结构、开启式 |
| 功率 | 1.5 KW |
| 炉管尺寸 | Dia 25(OD) X500 mm 中间区域（Dia50X150） |
| 外形尺寸（mm） | 800X600X1500 |
| 电源电压 | 220V |
| 相数 | 单相 |
| 加热元件 | 国产优质电阻丝 |
| 控制方式 | 采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护和断偶保护，过温或断偶时电炉加热电路自动切断,（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有效的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 （更换进口仪表，需要另外付费，选购） FP93控温仪表（日本岛电） 欧陆仪表 触摸屏仪表 |
| 炉膛材料 | 1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。 2、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本的热工技术布置、经过热工软件模拟温场 |
| 流化床区域 | 1、反应气体通过多孔石英板均匀地通过反应区，到达鼓肚子收口处形成回流涡流。 2、固体颗粒被通入的气体悬浮在鼓肚子区域内 3、炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，法兰为卡套式、打开法兰卡套取出反应后的颗粒。 进气气体的调节： |
| 炉管或多孔石英板 | 1、多孔石英板孔径：10um 左右 2、尺寸：φ35mm x 5mm 厚 |
| 控制精度 | +/- 1 ℃ |
| 电器 | 浙江正泰 |
| 可控硅 | 106/16E 德国西门康 |
| 设计温度 | 1200 ℃ |
| 额定温度 | 1100 ℃ |
| 升温速率 | ≤30 ℃/ Min （可根据要求修改） |
| 推荐升温速率 | ≤15 ℃/ Min |
| 热电偶型号 | K型 |
| 加热段长度 | 205mm |
| 真空系统 | 1、单级泵 TW-1.5A 2、 双级泵 2XZ-2 3、 VS-0.1真空系统 4、 VS高真空系统 5、 恒压泵 6、英国PCG550（INFICON）电容真空计 1、一般粗略抽真空、把炉管里面的气体赶出来用：TW-1.5A单级泵即可。 2、双级泵2XZ-2 真空泵能够把管式炉炉管的真空度抽到10Pa左右。 3、VS-0.1真空系统能够把管式炉炉管内的真空度抽到0.1Pa（并配带有电阻真空计显示）。 4、VS高真空系统（该系统是由分子和机械泵组成）能够把管式炉炉管内的真空度抽到10-3 Pa。 5、恒压泵（该系统可以把管内压力控制在-100.0KPa~100.0KPa）。 6、英国（INFICON）电容真空计（测量范围3.8x10-5 -1125 Torr、可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好、可选防腐类型PCG554） |
| 四周表面温度 | ≤45℃ |
| 保修期 | 一年保修，终身技术支持 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不在保修期内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
| 注意事项 | 1.炉管内气压不可高于0.02MPa 2.向炉管内通气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa。进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热炉管的冲击 3.加热过程中不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
流化床炉管为高纯石英管，炉管内部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔径可单独定制。.粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行沉积实验。
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